下载OLED掩模板蒸镀检测清洁装置的技术资料

文档序号:24607272

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本发明涉及OLED掩模板蒸镀检测清洁装置,具有机体,机体分为上、中、下三层,上层为吹风室,中层为掩模板放置室,下层为吸风室,吹风室的顶部安装吹风机,底部设有过滤膜;掩模板放置室的顶部设有支架,支架上固定有若干根紫光灯;掩模板放置室的底部为一...
该专利属于湖北浚山光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北浚山光电有限公司授权不得商用。

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