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一种无参比电极半导体离子传感器及其制备方法技术
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文档序号:24604493
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本发明属于半导体离子传感器技术领域,具体为一种无参比电极半导体离子传感器及其制备方法。本发明传感器是对现有无参比电极半导体离子传感器的改进,具体是对覆盖在一对叉指电极上的敏感膜进行改进:其中一个叉指电极上的敏感膜为高敏感度敏感膜,另一个叉指...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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