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本发明公开了一种异质结敏感器件、其制备方法和含该敏感器件的气体传感器,属于半导体器件与传感技术领域。其制备方法包括三个步骤:将碳纳米管和氧化石墨烯依次在磁性亚微米球表面进行可控包覆,形成异质结;在滴样过程中利用磁场操控上述三维磁性碳纳米管/...该专利属于南京晶碳纳米科技有限公司;南京微米电子产业研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京晶碳纳米科技有限公司;南京微米电子产业研究院有限公司授权不得商用。