下载低温吸附再生式气回流系统的技术资料

文档序号:24604120

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本实用新型公开了一种低温吸附再生式气回流系统,包括若干个吸附桶,若干个所述吸附桶的进气口均与含氦废气罐连接,每个所述吸附桶上均设置有净化管道与再生回收管道,且能通过所述净化管道与净化系统的进气管道、出气管道并联,通过所述再生回收管道与高纯氦...
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