下载光学三维测量系统的技术资料

文档序号:24602930

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本发明公开了光学三维测量系统,专门用于高速在线自动检测半导体晶片和晶片封装连线的检查,本系统三维测量系统仅仅需要采集一幅图,就可以得到整个物体表面的三维形貌,因而,测量速度极快,特别适合于在线高速三维检测。该测量系统也适用于检测其他各种物体...
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