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本发明公开了一种基于波长移相干涉的光热表面变形检测标定装置及方法，光热表面变形检测标定装置包括有分别朝向被测样品表面的泵浦光源、探测光源、光电探测器和波长可调谐光源，波长可调谐光源和被测样品之间顺次设置有可调谐光源分束装置、可调谐光源聚焦装...
该专利属于合肥知常光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥知常光电科技有限公司授权不得商用。

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