下载一种硼硅共掺杂金刚石电极及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:24598427

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本发明提供了一种硼硅共掺杂金刚石电极及其制备方法与应用,其中硼硅共掺杂金刚石电极包括基体以及设于所述基体上的硼硅共掺杂金刚石层。本发明提供的硼硅共掺杂金刚石电极,通过在金刚石层中掺入硼元素,可有效地提高金刚石层的导电性;而硅元素的掺入,可有...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。

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