下载一种钕铁硼磁体表面防腐涂层的制备方法的技术资料

文档序号:24598124

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本发明公开了一种钕铁硼磁体表面防腐涂层的制备方法,包括以下步骤:1)表面预处理:清洗磁体表面,烘干;2)表面清洗:抽真空,升温至100℃,通入氩气,腔体加负偏压,对样品进行等离子清洗;3)表面蒸镀:抽真空,升温至200~300℃,通入辅助气...
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