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本公开内容涉及一种用于执行增材制造操作以形成部件的方法,其中,该部件由光敏聚合物抗蚀剂材料制成。该方法可以涉及生成激光光束并将激光光束指向数字掩模处。可以控制数字掩模以选择性地产生具有如下细光束子集的光束:所述细光束子集形成图像并且所述细光...该专利属于劳伦斯·利弗莫尔国家安全有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过劳伦斯·利弗莫尔国家安全有限责任公司授权不得商用。
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