下载用于可缩放亚微米增材制造的深度分辨的并行双光子聚合的系统和方法的技术资料

文档序号:24596937

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本公开内容涉及一种用于执行增材制造操作以形成部件的方法,其中,该部件由光敏聚合物抗蚀剂材料制成。该方法可以涉及生成激光光束并将激光光束指向数字掩模处。可以控制数字掩模以选择性地产生具有如下细光束子集的光束:所述细光束子集形成图像并且所述细光...
该专利属于劳伦斯·利弗莫尔国家安全有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过劳伦斯·利弗莫尔国家安全有限责任公司授权不得商用。

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