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片材检测设备和成像设备制造技术
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文档序号:24589052
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本申请提供片材检测设备和成像设备。片材检测设备包括:片材支撑表面;第一传感器标记,所述第一传感器标记包括第一标记部分、第一接触部分和第三接触部分;第二传感器标记,所述第二传感器标记包括第二标记部分和第二接触部分;第一检测传感器,所述第一检测...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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