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一种柔性GMR磁场传感器及其制备方法技术
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文档序号:24585010
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一种柔性GMR磁场传感器及其制备方法,包括柔性基底、巨磁电阻结构和导电层;巨磁电阻结构和导电层均设置在柔性基底上表面,且导电层设置在巨磁电阻结构的周围;巨磁电阻结构包括第一缓冲层、第二缓冲层、钉扎层、隔离层和两个铁磁层,两个铁磁层分别为被钉...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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