下载一种单芯片白光LED的制备方法的技术资料

文档序号:24584920

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本申请公开了一种单芯片白光LED的制备方法,包括:在衬底上刻蚀对位光刻标记点;依次生长GaN或AlN成核层、非故意掺杂GaN缓冲层和掺Si的n型GaN层;生长不同发光波长的有源区发光层;生长p型GaN层得到多区域不同发光波长的LED外延片;...
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