温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种异质结太阳能电池成膜生产工艺。其具体工艺为：先将制绒清洗后、待成膜的单晶硅片装至一块基板上，并至少在一个成膜单元对该单晶硅片采用等离子体处理后再直接对单晶硅片进行一次i型非晶硅成膜和n型非晶硅成膜；还采用另外一个或多个成膜单...
该专利属于晋能光伏技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过晋能光伏技术有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。