温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明实施例提供的一种抽真空装置及层压系统,其中抽真空装置包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路,每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通,且每组所述支路包括真空缓存器;第一管路,其第一端与所述抽真空设备连通,第二端与所述真空...该专利属于汉能移动能源控股集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过汉能移动能源控股集团有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明实施例提供的一种抽真空装置及层压系统,其中抽真空装置包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路,每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通,且每组所述支路包括真空缓存器;第一管路,其第一端与所述抽真空设备连通,第二端与所述真空...