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本发明公开了一种用于晶圆干燥的提升氮气移除水分子的能力的方法，包括在干燥腔室外侧壁设计一维持热氮气稳定的热动能的阳极氧化保温层，且所述阳极氧化保温层内嵌有辅助型管式加热器用于进行辅助加热；以及，通过在干燥腔室外侧壁和干燥腔室内侧壁分别置入用...该专利属于至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司授权不得商用。