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一种用于确定缺陷材料元素的方法，所述方法包括以下步骤：(a)通过带电粒子束系统并通过应用光谱工艺来获取缺陷的一部分的电磁发射光谱；(b)通过所述带电粒子束系统获取包括所述缺陷的区域的背散射电子(BSE)图像；以及(c)确定缺陷材料元素。所述...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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