温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种提高p型掺杂离子注入准确度的方法。本发明包括初步确定仿真值、根据仿真值进行离子注入、对仿真值进行校准；重复上述对仿真值进行校准的步骤，确定最终离子注入能量和剂量以获得最接近目标值的实际注入值。本发明记载了相应的缩小离子注入目...该专利属于全球能源互联网研究院有限公司;国网浙江省电力有限公司;国家电网有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过全球能源互联网研究院有限公司;国网浙江省电力有限公司;国家电网有限公司授权不得商用。