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本发明涉及晶圆厚度减薄技术领域，公开了一种晶圆减薄装置，包括电源与工具电极，所述电源的一极与所述工具电极电连接，所述电源的另一极能够与待加工的晶圆电连接，所述工具电极上设有多个放电端子。本发明运用电火花加工的原理，通过将工具电极和晶圆分别连...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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