下载一种晶粒度和性能可控的溅射靶材铜板带生产工艺的技术资料

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本发明涉及一种铜板带生产工艺技术领域,尤其涉及一种晶粒度和性能可控的溅射靶材铜板带生产工艺,包括如下步骤:步骤1熔铸铜坯;步骤2铣面;步骤3热轧,加热至800℃‑900℃后出炉,进行7‑11次轧程,终轧温度在600℃‑650℃以内;步骤4在...
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