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一种工业宏量制备新材料的集成设备，包括有控制柜内分别与三个工艺介质连接端口相连的三个采集单元；与工艺气源连接端口相连的降温单元和先导气源单元；采集单元一连接控制单元一；采集单元二连接控制单元二；采集单元三连接控制单元三；控制单元一、控制单元...
该专利属于张旭所有，仅供学习研究参考，未经过张旭授权不得商用。

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