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一种旋转式多位阻蒸舟制造技术
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下载一种旋转式多位阻蒸舟的技术资料
文档序号:24558130
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本实用新型创造涉及真空镀膜技术领域,提出一种旋转式多位阻蒸舟。包括电源、旋转盘、下公用电极和换位电极;在旋转盘的顶面中心位置处,在旋转盘的顶面边缘位置处,设置有若干个分电极,在每个分电极与上公用电极之间悬置有一个阻蒸舟,在每个分电极的下方设...
该专利属于南阳清水科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南阳清水科技有限公司授权不得商用。
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