下载一种旋转式多位阻蒸舟的技术资料

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本实用新型创造涉及真空镀膜技术领域,提出一种旋转式多位阻蒸舟。包括电源、旋转盘、下公用电极和换位电极;在旋转盘的顶面中心位置处,在旋转盘的顶面边缘位置处,设置有若干个分电极,在每个分电极与上公用电极之间悬置有一个阻蒸舟,在每个分电极的下方设...
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