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本实用新型提供一种多狭缝组件，为了解决传统机械刃边拼接狭缝其狭缝长度短、宽度大，难以加工较长的高精密狭缝，以及激光刻蚀成型一体化狭缝其狭缝平面度和直线度难以满足要求的问题。该组件包括狭缝上盖板、与狭缝上盖板固定连接的狭缝下盖板、及设置在狭缝...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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