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本实用新型公开了一种超高真空极低温原位多探针输运测量系统，包括快速进样室、生长室、输运测试室、真空互联系统、系统支架及电源系统，其中快速进样室主要实现大气和超高真空环境之间快速传递样品和针尖；生长室主要在高温下实现指定图案薄膜器件和电极的生...
该专利属于仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司授权不得商用。

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