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提供一种声波传感器元件。所述声波传感器包括：具有或不具有3D基质微结构的压电基板以增加有效传感区域的表面，以及共价键合到压电基板表面的锚定物质；并且所述锚定物质可结合至捕捉试剂。还提供制造使用包含锚定物质的生物活性膜涂覆压电材料表面的所述3...
该专利属于艾维亚纳分子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾维亚纳分子技术有限公司授权不得商用。

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