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一种金属表面检测的方法及系统技术方案
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文档序号:24505694
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一种金属表面检测的方法及系统,其中所述方法包括:发射器(110)将频率小于该金属等离子体频率的电磁波入射到调制装置(120)与待测金属之间的狭缝,以产生金属表面等离子体波;其中,所述金属表面等离子体波与所述入射的电磁波耦合,并被共振激发为空...
该专利属于合刃科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合刃科技(深圳)有限公司授权不得商用。
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