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单晶金刚石衍射光学元件及其制造方法技术
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文档序号:24505535
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本发明涉及一种单晶金刚石光学元件生产方法。该方法包括以下步骤:‑提供单晶金刚石基板或层;‑将掩模层涂敷到单晶金刚石基板或层;‑穿过掩模层形成至少一个或多个凹陷或凹口,以露出单晶金刚石基板或层的一个或多个部分;以及‑蚀刻单晶金刚石基板或层的露...
该专利属于洛桑联邦理工学院所有,仅供学习研究参考,未经过洛桑联邦理工学院授权不得商用。
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