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提供用于处理物品的系统、设备和方法。该系统包括用于合成、预处理、进行气相涂层过程和以粉末和固体或多孔工件的形式对物品进行后处理的子系统。该设备允许气相合成、处理和沉积过程以高效率和高总吞吐量进行。该方法包括将固体、液体或气体转化为气体和固体...
该专利属于福吉纳米有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福吉纳米有限公司授权不得商用。

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