温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种电弧蒸镀装置，包括‑阴极组件，‑被布置为使得在电极和靶的正面之间的电弧能被建立的电极，和‑安放在靶的背面前方的磁引导系统，其特征在于，所述磁引导系统包括安放在中心区的用于产生至少一个磁场的机构和安放在周边区内的用于产生至少另一个磁场的机...
该专利属于欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。