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硅颗粒的热处理制造技术
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文档序号:24505281
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本发明的主题是通过1)研磨硅以形成硅颗粒,其中研磨是在氧化气氛或在氧化介质中进行的和/或将通过研磨获得的硅颗粒暴露于氧化气氛,和2)在300℃至1100℃的温度下、在惰性气体气氛中或在降低的压力下热处理在步骤1)中获得的硅颗粒,以用于制备具...
该专利属于瓦克化学股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。
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