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用于材料加工的设备,所述设备具有电磁辐射的至少一个射束源和使辐射变化地成形并且聚焦的射束成形光学装置。被发出的辐射具有第一射束参数乘积并且在其中辐射与材料处于相互作用的加工区中的辐射具有第二射束参数乘积。调整装置通过改变至少一个光学元件的光...该专利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会所有,仅供学习研究参考,未经过弗劳恩霍夫应用研究促进协会授权不得商用。
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用于材料加工的设备,所述设备具有电磁辐射的至少一个射束源和使辐射变化地成形并且聚焦的射束成形光学装置。被发出的辐射具有第一射束参数乘积并且在其中辐射与材料处于相互作用的加工区中的辐射具有第二射束参数乘积。调整装置通过改变至少一个光学元件的光...