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MEMS声换能器包括基板，形成在该基板内的膜以及施加在该膜上的弯曲致动器。该膜包括至少一个集成的永磁体并且是电动可控的。该弯曲致动器可以与膜分开进行压电控制。...
该专利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会所有，仅供学习研究参考，未经过弗劳恩霍夫应用研究促进协会授权不得商用。

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