下载MEMS谐振器信号读出装置及方法的技术资料

文档序号:24503457

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本发明属于MEMS谐振器技术领域,具体公开了一种MEMS谐振器信号读出装置及方法。其中,所述装置基于模拟电路方案或数字化处理方案实现,以上两种方案均在装置的前端对低频噪声和高频噪声进行及时、有效地处理,避免噪声叠加在后级电路上,利于提升装置...
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