下载一种应用于内层板的曝光机及对位系统的实时监测方法的技术资料

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一种应用于内层板的曝光机,包括可移动的基板台面和对位系统,所对位系统包括朝向基板台面设置的对位机构和对内层板标记的标记机构,所述标记机构包括至少两个标记装置,所述标记装置分别位于所述基板台面的相对侧。通过将标记装置设置于基板台面的相对两侧,...
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