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本发明属于生物检测传感技术领域，具体涉及一种超亲水的场效应管生物传感器及其制备方法。选取(111)型SOI硅片为传感器衬底材料，保障器件结构与衬底之间绝缘特性；采用MEMS工艺制备的阵列化硅纳米线结构，增大待测物质与器件敏感单元的接触面积，...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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