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光学测量设备制造技术
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文档序号:24493746
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本申请公开了光学测量设备,包括:发射多个波长的光的光源(1);来自光源(1)的光通过其的第一共焦光阑(2);光学照射/成像系统(BA),至少包括:第一分光元件(4),其被设计为棱镜或光栅,进入第一分光元件(4)的光被使得准直;及与第一分光元...
该专利属于普雷茨特光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过普雷茨特光电有限公司授权不得商用。
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