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本发明涉及厚度测量技术领域，特别涉及一种接触式厚度测量装置、使用该装置的系统及其测量方法。包括第一卡件、第二卡件、伸缩部、第一导向部、第二导向部、基座部以及位移传感部，伸缩部的其中一个伸缩端用于驱动第一卡件沿第一导向部运动，伸缩部的另一个伸...
该专利属于北京二十一世纪科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京二十一世纪科技发展有限公司授权不得商用。

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