下载微机电泵模块的技术资料

文档序号:24492251

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一种微机电泵模块,包含:一微处理器,输出一定电压及一变电压;一微机电芯片,电连接微处理器,微机电芯片包含:一芯片本体,为一长方形态样,具有一短边;多个微机电泵,设置于芯片本体,且分别具有一第一电极及一第二电极;多个连接电极,设置于芯片本体且...
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