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本发明公开了一种高世代平板用铜钼蚀刻液,所述蚀刻液的原料按重量百分比计算,包括硫酸0.1‑5%,过氧化氢5‑20%,过硫化钠0.5‑5%,硫酸铵5‑15%,氯化钠3‑10%,氟化铵1‑5%,稳定剂Ⅰ0.5‑3%,表面活性剂2‑10%和金属离...该专利属于江阴润玛电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴润玛电子材料股份有限公司授权不得商用。
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