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一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置及点火方法制造方法及图纸
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下载一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置及点火方法的技术资料
文档序号:24487556
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本发明公开了一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置及点火方法,点火装置包括硅粉原料罐和工频加热器,硅粉原料罐上设有硅粉加入口、气体出口、硅粉出口、气体入口、温度传感器和压力传感器。点火方法包括:第一步:硅粉加入硅粉原料罐中,工频加热器调电压33...
该专利属于武汉新硅科技潜江有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新硅科技潜江有限公司授权不得商用。
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