下载一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置及点火方法的技术资料

文档序号:24487556

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置及点火方法,点火装置包括硅粉原料罐和工频加热器,硅粉原料罐上设有硅粉加入口、气体出口、硅粉出口、气体入口、温度传感器和压力传感器。点火方法包括:第一步:硅粉加入硅粉原料罐中,工频加热器调电压33...
该专利属于武汉新硅科技潜江有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新硅科技潜江有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。