下载氩尾气回收净化方法和系统的技术资料

文档序号:24487507

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本发明涉及一种氩尾气回收净化系统,包括氩尾气收集装置和氩尾气净化精制装置。氩尾气收集装置包括过滤单元和加压单元。过滤单元用于去除氩尾气中的固体颗粒物得到初步过滤后的氩尾气。加压单元用于将初步过滤后的氩尾气加压到额定压力得到加压后的氩尾气。氩...
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