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本申请涉及一种固化参数优化方法、装置、薄膜固化系统及计算机设备。方法包括:获取薄膜固化系统的薄膜初始温度信息以及第一固化参数;将初始温度信息以及第一固化参数输入温度求解模型,得到第一固化参数下的薄膜温度;根据薄膜温度与预设薄膜固化温度,得到...该专利属于浙江清华柔性电子技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江清华柔性电子技术研究院授权不得商用。
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