温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了单晶炉,包括:单晶炉本体、石英坩埚、籽晶、第一加热器、第二加热器、导流筒和第三加热器,单晶炉本体内限定出容纳空间;石英坩埚设在容纳空间;籽晶可垂直移动地设在石英坩埚上方且可伸入熔硅中以便直拉长晶得到晶棒;第一加热器设在单晶炉...该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了单晶炉,包括:单晶炉本体、石英坩埚、籽晶、第一加热器、第二加热器、导流筒和第三加热器,单晶炉本体内限定出容纳空间;石英坩埚设在容纳空间;籽晶可垂直移动地设在石英坩埚上方且可伸入熔硅中以便直拉长晶得到晶棒;第一加热器设在单晶炉...