下载硅片料盒的技术资料

文档序号:24467645

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本实用新型公开了硅片料盒,涉及硅片输送的技术领域。硅片料盒,包括盛料板,滚轴和挡板。盛料板一侧设有挡板,盛料板另一侧设有滚轴,滚轴的滚动轴心与盛料板板面平行,挡板板面与盛料板板面相垂直。通过滚轴的设置使得硅片进入料盒的时候由原来的滑动摩擦变...
该专利属于无锡市江松科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市江松科技有限公司授权不得商用。

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