下载一种LED外延生长方法的技术资料

文档序号:24463925

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本发明提供了一种提高抗静电能力及发光效率的LED外延生长方法,具体如下:步骤1、处理衬底;步骤2、在衬底上生长低温缓冲层氮化镓层;步骤3、生长不掺杂的氮化镓层;步骤4、生长复合N型层;步骤5、生长多量子阱发光层;步骤6、生长掺杂铝和镁的电子...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。

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