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本发明公开了一种碱腐蚀去除晶圆表面损伤的装置与方法。该装置包括腐蚀载具、机械手、腐蚀工艺槽和碱液准备槽；腐蚀载具包括两个侧板和安装两侧板之间的三根带齿转杆，每根带齿转杆的两端均设有齿轮；两侧板的外侧还分别设有中心驱动齿轮和载具驱动齿轮，载具...
该专利属于有研半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研半导体材料有限公司授权不得商用。

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