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具有静电导出作用的多自由度样品杆制造技术
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下载具有静电导出作用的多自由度样品杆的技术资料
文档序号:24463164
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本发明公开了一种具有静电导出作用的多自由度样品杆,样品杆上设有纳米定位器,纳米定位器包括压件组件,压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件,纳米驱动器设有装载样品的套管,套管上装有锁紧样品的预紧螺钉,其特征在于:纳米驱动器的尾端设有静电导出件...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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