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一种单根一维纳米结构场发射冷阴极的制作方法技术
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文档序号:24463147
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本发明公开了一种单根一维纳米结构场发射冷阴极的制作方法,该制作方法利用纳米结构体局部自加热效应在微纳导电基体上熔接生长在导电衬底上的单根一维纳米结构,以形成欧姆接触接合;利用金属探针以电熔断方式截取单根一维纳米结构,使得单根一维纳米结构与导...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。
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