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本发明公开了一种带电粒子束加工设备扫描系统校准标定方法，首先建立n相绕组励磁电流指令与带电粒子束在工作平面上对应相绕组扫描轴线上相位移的关系，建立带电粒子束在工作平面上合位移与理想相位移的一一对应关系；并获得n相绕组扫描轴线的夹角；然后根据...
该专利属于桂林狮达技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过桂林狮达技术股份有限公司授权不得商用。

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