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一种K型单刀四掷射频MEMS开关制造技术
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文档序号:24457854
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本实用新型属于射频MEMS领域,具体涉及一种K型单刀四掷射频开关。一种K型单刀四掷开关,主要由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和触点组成,微波传输线和驱动电极设置在衬底上,上电极为直板型结构,下电极采用带弹性梁的双触点。...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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