下载一种二维PLZST反铁电光子晶体及制备方法的技术资料

文档序号:24453191

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本发明属于电光子人工超材料制备技术领域,公开了一种二维PLZST反铁电光子晶体及制备方法,首先制备SSO模板,然后基于SSO模板制备二维PLZST反铁电光子晶体。本发明中的SSO模板采用ICP刻蚀工艺制备,结构参数误差小于10nm,制备的二...
该专利属于湖北民族大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖北民族大学授权不得商用。

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